美日对华半导体阀门等设备及零部件实施严格禁运,引发国产替代紧迫性。
2024年12月2日,美国发布了对华半导体出口管制措施,进一步加严对半导体制造设备、存储芯片等物项的对华出口管制,并将140家中国实体增列至出口管制实体清单,还拓展长臂管辖,对中国与第三国贸易横加干涉。
自美国政府将一批中国实体列入出口管制实体清单后,为配合美国对华芯片产业链制裁,日本政府反应迅速,加严了对华的半导体零部件出口限制。
此次禁运令不仅涵盖了广泛的半导体设备及零部件品类,而且在管制强度上也达到历史之最。据供应链消息,美系厂商如世伟洛克(Swagelok)、Parker Hannifin等已告知实体清单上的140家客户列为禁售。
根据行业研究机构调研报告,自禁运令实施以来,半导体设备阀门的库存量急剧减少,且交货周期不断延长。外资品牌的断供现象已经发生,导致国产品牌的价格上涨了10-20%。同时,交货周期也由原来的1个月延长至3-6个月。在订单端,打样订单的数量环比大幅提升,终端用户和代理商都在加紧备货,以应对可能的供应链风险。
半导体阀门的应用与市场格局
半导体阀门在晶圆生产过程中扮演着至关重要的角色,它们被广泛应用于真空系统与流体系统内,涵盖了化学气相沉积(CVD)、光刻、离子注入、物理气相沉积(PVD)、快速热处理(RTP)、湿法刻蚀(WET)、CMP等关键工艺环节。在真空系统中,隔离阀、控制阀、传输阀等是常用的阀门类型;而在流体系统中,则主要采用隔膜阀、调压阀、波纹管阀、单向阀等。
目前,全球半导体阀门市场呈现出高度集中的态势,被少数外资巨头所垄断。其中,真空系统阀门市场由瑞士VAT公司主导,其2021年的全球市场份额高达75%。此外,MKS(美国)、VTEX(日本)、CKD(日本)、SMC(日本)、Ulvac(日本)等厂商也占据了不小的市场份额。在流体系统阀门市场方面,主要参与者同样为美日企业,包括Swagelok(美国)、Fujikin(日本)、Parker Hannifin(美国)等。
国产替代的紧迫性与机遇
由于半导体阀门技术壁垒高且客户认证周期长,受制于技术难度和产业经验积累不足,当前中国半导体阀门的国产率低,大量依赖进口。尤其是在设备端的高端半导体阀门领域,国产替代几乎为空白。在美国对华芯片产业链制裁不断升级的背景下,设备厂和Fab厂为了保证供应链安全,对国产替代的需求日益强烈。
据了解,目前国内已有一批上市或非上市企业开始积极布局半导体阀门市场。上市公司中,新莱应材已成功打入国内外头部客户体系,包括众多国际知名设备厂商,同时公司有多个新产品在加速研发完成送样。晶盛机电的子公司晶鸿精密与日本Primet合资成立的绍兴普莱美特,已经实现了6款隔膜阀的客户验证并量产。此外,还有多家非上市公司也在积极推出相关产品,加速国产替代进程。
随着特朗普当选美国总统,无论是BIS清单的扩大、敦促Nvidia等企业排查在华产业链,还是限制AI芯片出口等措施,都显示出美国对华技术封锁将进一步加强的趋势。在此背景下,国产替代将成为中国半导体产业发展的必由之路。
阀门断供陆续有卖方首席分析师跟进调研。近期,自主可控以及光刻机等板块出现了反弹迹象,市场正密切关注断供的后续发酵以及国产替代的进展。